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    低壓化學氣相沉積系統LPCVD

    簡要描述:v滿足石墨烯和碳納米管研究的高溫和快速冷卻要求v直徑200毫米的石英室v內部石英管的設計便于拆卸和清洗v基片尺寸可達直徑150毫米v三區電阻爐

    基礎信息

    產品型號

    廠商性質

    代理商

    更新時間

    2024-10-22

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    詳細介紹

    v 滿足石墨烯和碳納米管研究的高溫和快速冷卻要求

    v 直徑200毫米的石英室

    v 內部石英管的設計便于拆卸和清洗

    v 基片尺寸可達直徑150毫米

    v 三區電阻爐,150毫米的均勻溫度區

    v 溫度可達1000°C

    v 使用節流型VAT蝶形閥下游壓力控制在50 mTorr500 mTorr之間

    v 88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 兩級干式真空


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