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    扇出型晶圓級熱拆鍵合

    簡要描述:

    基礎信息

    產品型號

    廠商性質

    代理商

    更新時間

    2024-10-22

    瀏覽次數

    410
    詳細介紹

    一、功能特點

    ? FOWLP優化熱拆鍵合

    ? 全自動脫膠

    ? FOWLP晶圓翹曲控制和測量

    ? FOWLP晶圓正反面標記

    ? 可獨立的全自動翹曲矯正模式

    ? 符合SEMI E95的MMI

    ? 符合SEMI E005和E030的SECS/GEM

    二、機器描述

    1、半自動熱拆鍵合機 MDM330s

    晶圓尺寸: 300/330 mm

    晶圓厚度: 400µm - 1000µm

    溫度控制: 室溫 - 240℃

    溫度均勻性: ±2℃

    流程模式:

    ? 拆鍵合和脫膠工藝

    ? 翹曲矯正工藝

    ? 手動裝載

    翹曲處理能力: 輸入:≤ ±15mm輸出:<1 mm*

    晶圓傳輸系統: 三溫無接觸傳輸

    子系統 :全自動脫膠

    2、全自動熱拆鍵合機ADM330

    晶圓尺寸: 300/330 mm

    晶圓厚度: 400µm - 1000µm

    溫度控制 :室溫 - 240℃

    溫度均勻性: ±2℃

    流程模式:

    ? 拆鍵合和脫膠工藝

    ? 翹曲矯正工藝

    WPH:>20個晶圓/時

    翹曲處理能力 :

    輸入:±5 mm

    輸出:<1 mm*


    晶圓傳輸系統: 三溫無接觸傳輸

    子系統 :

    ? Wafer ID雙面讀取

    ? 翹曲測量

    ? 雙面激光標記

    通信系統:SECS/GEM與GEM300


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