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    Nikon NSR 2005i10C步進(jìn)式光刻機(jī)
    
            
    
            	
    簡(jiǎn)要描述：NikonNSR2005i10C1
    
            
    
            
    
              基礎(chǔ)信息
            	
    
                	
    產(chǎn)品型號(hào)
    
                    
    廠商性質(zhì)
    代理商
    
                    
    更新時(shí)間
    2024-10-22
    
                    
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    詳細(xì)介紹
    
      
    

                
    
                	
                    
    
                        
                            
                        
                    
    
                
    
      
    
           
    Nikon NSR 2005i10C
    1.Nikon NSR 2005i10C步進(jìn)式光刻機(jī)
    光源波長(zhǎng)365nm
    分辨率優(yōu)于0.45µm
    主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
    廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
    2.產(chǎn)品詳情
    主要技術(shù)指標(biāo)
    分辨率0.45µm
    N.A.0.57
    曝光光源365nm
    倍率5:1
    曝光現(xiàn)場(chǎng)20mm*20mm
    對(duì)準(zhǔn)精度
    LSA：100nm
    FIA：110nm


      
      
    
      
    
      
      
     
      
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