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    激光退火設備

    簡要描述:v應用范圍:對重摻雜碳化硅(SiC)表面沉積的過渡金屬進行退火

    基礎信息

    產品型號

    廠商性質

    代理商

    更新時間

    2024-10-22

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    詳細介紹

    v 應用范圍:對重摻雜碳化硅(SiC)表面沉積的過渡金屬進行退火,形成良好的歐姆接觸

    v 加工尺寸:4inch、6inch

    v 加工速度:1000mm/s

    v 加工精度:±1μm

    v 平臺參數:行程300mm×300mm

    v 重復定位精度:±0.001mm

    v 激光器參數:紫外

    v 稼動率:98%以上

    v 重大故障間隙時間:1000H

    v 良率:≥99.5%


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