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    熱拆鍵合機

    簡要描述:v該系統是用于分離晶圓與載體(熱拆鍵合)的FOWLP技術

    基礎信息

    產品型號

    廠商性質

    代理商

    更新時間

    2024-10-22

    瀏覽次數

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    詳細介紹

    v 該系統是用于分離晶圓與載體(熱拆鍵合)的FOWLP技術,通過釋放熱量將載體剝離

    v FOWLP優化熱拆鍵合技術

    v 全自動脫膠

    v FOWLP晶圓翹曲控制和監測

    v FOWLP晶圓正面標記

    v 全自動翹曲矯正模式

    v 晶圓尺寸:300/330 mm

    v 溫度控制:20~240℃ ±2℃

    v 裝載和卸載:手動/全自動

    v 翹曲處理能力:輸入翹曲:10 mm    矯正后的翹曲:<1 mm

    v 晶圓傳輸系統:三溫無接觸傳輸

    v ESD控制:帶有自動反饋傳感器的電離器


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