簡要描述：v兼容基底尺寸：直徑≤100mmv支持基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等v納米壓印技術：旋涂膠基底高精度壓印點膠自動找平壓印、旋涂膠基底壓印、點膠自動找平壓印模式v壓印精度：優于10nmv結構深寬比：優于10：1v殘余層控制：可小于10nm微米級TTV控制精度v紫外固化光源：紫外LED（365nm）面光源

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